高潔淨度化學品供應與分裝系統
化學品分類：
-
酸性化學品
-
鹼性化學品
-
有機溶劑化學品
產品特色
1.化學品分類:
- 酸性化學品
- 鹼性化學品
- 有機溶劑化學品
2.化學系統單元架構:
- 儲存槽:設於廠務區,化學品暫存用,設有液位計,實時通知值班人員補充化學品
- 供應設備:設置於廠務區,用於化學品供應/輸送/釋稀/淨化
- 分配閥箱(VMB)：設於無塵室,將化學品分配至多個生產機台
- I/O Panel：設於無塵室,做為生產機台與供酸機台通訊接口用
- DCP (Main PLC Panel)：設於廠務區,做為I/OPanel/供酸機台/SCADA訊號交換用
- SCADA (監控系統)：設於廠務區,監看各I/OPanel/供酸機台/VMB運轉狀況,並實時發出警報及記錄系統狀態
- 管路系統：化學品輸送用,依化學品特性材質可分為PFA或SUS或PV
- UTILITY：供酸機台所需之Power/N2/CDA/UPW/EXH/Drain..屬之
應用領域
1.槽車供應系統:
- 設計照明，壓力表，氮氣槍，水槍， N2安全閥，槽車壓力傳感器等安全設施，閥件、接頭及管道須採用抗腐蝕的PFA材質。
- 設計良好的排氣裝置系統， 管路接頭採用符合ppt等級的材質。
- 設計PTFE材質的高效過濾器，保證操作空間的潔淨等級； 設計取樣口，配合實驗室用作在線檢測和質量管理。
- 控制系統採用PLC設計，搭配觸摸屏幕，並加裝條形碼機防止誤操作； 考慮操作面板的操作方便性；考慮操作過程的安全性。
- 設備均安裝液體洩漏偵測器以監控化學系統之供應安全；透明維護檢修窗設計。
- 有機類化學品供應系統將提供CO2單元、溫度偵測器及火焰偵測器。
2. 輸送及供應系統:
- 設計照明，壓力表，氮氣槍，水槍， N2安全閥，儲存槽壓力傳感器等安全設施。
- 閥件、接頭及管道須採用抗腐蝕的PFA材質。
- 設計良好的排氣裝置系統。
- 管路接頭採用符合ppt等級的材質。
- 設計PTFE材質的高效過濾器，保證操作空間的潔淨等級。
- 設計取樣口，配合實驗室用作在線檢測和質量管理。
- 控制系統採用PLC設計，搭配觸摸屏幕，並加裝條形碼機防止誤操作。
- 考慮操作面板的操作方便性。
- 考慮操作過程的安全性。
- 設備均安裝液體洩漏偵測器以監控化學系統之供應安全。
- 透明維護檢修窗設計。
- 有機類化學品供應系統將提供CO2單元、溫度偵測器及火焰偵測器。
3. 稀釋系統:
- 設計照明，壓力錶，氮氣槍，水槍，N2安全閥，壓力感測器等安全設施。
- 閥件、接頭及管道須採用抗腐蝕的PFA材質。
- 設計良好的排氣裝置系統。
- 管路接頭採用符合ppt等級的材質。
- 設計取樣口，配合實驗室用作線上檢測和品質管制。
- 控制系統採用PLC設計，搭配觸控式螢幕幕，並加裝條碼機防止誤操作。
- 考慮操作面板的操作方便性。
- 設備均安裝液體洩漏偵測器以監控化學系統之供應安全。
- 透明維護檢修窗設計。
- 稀釋設計方式: BATCH式:高精度磅秤測量重量比+泵迴圈+高精度濃度計檢測。
- ONLINE式:高精度流量計+STATIC MIXER+高精度濃度計檢測。
4. VMB:
- 設計抗腐蝕、防洩漏、強度夠，維護操作容易。
- 閥件、接頭及管道須採用抗腐蝕的PFA材質。
- 設計良好的排氣裝置接口。
- 管路接頭採用符合ppt等級的材質。
- 洩漏偵測器功能。
- 透明維護檢修窗設計。
- 防爆設計(有機) 。