特殊气体供应系统
设备种类
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Gas Cabinet气瓶柜
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Gas Rack气瓶架
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Mixer混气设备
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VMB分流阀箱
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VMP分流阀盘
产品特色
1.产品描述
BSGS/GC系统包括气体面板、气柜柜体和一个控制箱(手动系统除外)
- GC面板：主要作用在于将工艺气体的压力调节至工艺设备所需的压力，除去工艺气体中的有害杂质，在危急时刻立即关闭气动隔离阀，在更换气体钢瓶时保护工艺气体输送管道的洁净度。
- 气柜柜体：气柜规体由2.6毫米的钢板焊接而成，表面涂有抗腐蚀的聚酯涂料。排风口用于连接客户的排风系统。气柜门由2.6毫米的钢板及4.0毫米钢丝网安全玻璃窗组装而成。可燃性气体可选消防喷淋. 头,68℃时自动工作喷水。柜体内的钢瓶靠架用于固定钢瓶。可选的秤台用于监测液化性气体的重量。
- 控制箱：控制箱按不同功能由电源、PLC、触摸屏、电磁阀等组成。全自动控制箱通过采集PT、磅秤、UV/IR、温度传感等信号，通过PLC判断对BSGS/GC设备进行操作。
2.产品分类:
按钢瓶数量分：
- 单钢瓶单钢瓶供气，价格低适用于用气量小换瓶频率低，非生产型的实验室。
- 双钢瓶双钢瓶可实现气体不间断供应，适用于生产型用气单位。
- 三钢瓶单独自带吹扫氮气钢瓶，降低各供气设备间公用所发生的干扰。
按供气量分：
- GC供气量小，价格低。
- BSGS供气量大，价格相对高。
按控制分：
- 全自动触摸屏PLC控制，全自动排空、吹扫、供气。能与GMS或中控系统互动。
- 半自动自动切换、手动排空吹扫，能实现紧急、远程切断等功能。
- 手动 纯手动操作。
应用领域
1.使用目的：
气柜的设计和制造主要是为了安全存储和操作高纯剧毒，可燃，自燃，腐蚀性，氧化性，易反应的钢瓶气体。该设备能够保证在更换钢瓶或有毒气体泄漏时操作人员的人身安全。气柜必须正确连接在连续工作的排风系统中，以提供安全的操作环境。而柜体在钢瓶，钢瓶接口，钢瓶盘管，气体面板泄漏时提供有效的隔离和保护。排风系统能够将泄漏的毒气从柜体排放至安全的尾气处理系统中。
2.适用领域：
使用于半导体、LED、太阳能、医药、实验室等所有超高纯领域。