高洁净度化学品供应系统
化学品分类：
-
酸性化学品
-
碱性化学品
-
有机溶剂化学品化学品
产品特色
1.化学品分类:
- 酸性化学品
- 碱性化学品
- 有机溶剂化学品
2.化学系统单元架构:
- 储存槽:设于厂务区,化学品暂存用,设有液位计,实时通知值班人员补充化学品
- 供应设备:设置于厂务区,用于化学品供应/输送/释稀/净化
- 分配阀箱(VMB)：设于无尘室,将化学品分配至多个生产机台
- I/O Panel：设于无尘室,做为生产机台与供酸机台通讯接口用
- DCP (Main PLC Panel)：设于厂务区,做为I/OPanel/供酸机台/SCADA讯号交换用
- SCADA (监控系统)：设于厂务区,监看各I/OPanel/供酸机台/VMB运转状况,并实时发出警报及记录系统状态
- 管路系统：化学品输送用,依化学品特性材质可分为PFA或SUS或PV
- UTILITY：供酸机台所需之Power/N2/CDA/UPW/EXH/Drain..属之
应用领域
1.槽车供应系统:
- 设计照明，压力表，氮气枪，水枪， N2安全阀，槽车压力传感器等安全设施，阀件、接头及管道须采用抗腐蚀的PFA材质。
- 设计良好的排气装置系统， 管路接头采用符合ppt等级的材质。
- 设计PTFE材质的高效过滤器，保证操作空间的洁净等级； 设计取样口，配合实验室用作在线检测和质量管理。
- 控制系统采用PLC设计，搭配触摸屏幕，并加装条形码机防止误操作； 考虑操作面板的操作方便性；考虑操作过程的安全性。
- 设备均安装液体泄漏侦测器以监控化学系统之供应安全；透明维护检修窗设计。
- 有机类化学品供应系统将提供CO2单元、温度侦测器及火焰侦测器。
- 设备配有液体泄漏检测器，用于监测化学系统供应的安全性；透明维护窗口设计。
- 有机化学品供应系统将提供CO2单元，温度检测器和火焰探测器。
2. 输送及供应系统:
- 设计照明，压力表，氮气枪，水枪， N2安全阀，储存槽压力传感器等安全设施。
- 阀件、接头及管道须采用抗腐蚀的PFA材质。
- 设计良好的排气装置系统。
- 管路接头采用符合ppt等级的材质。
- 设计PTFE材质的高效过滤器，保证操作空间的洁净等级。
- 设计取样口，配合实验室用作在线检测和质量管理。
- 控制系统采用PLC设计，搭配触摸屏幕，并加装条形码机防止误操作。
- 考虑操作面板的操作方便性。
- 考虑操作过程的安全性。
- 设备均安装液体泄漏侦测器以监控化学系统之供应安全。
- 透明维护检修窗设计。
- 有机类化学品供应系统将提供CO2单元、温度侦测器及火焰侦测器。
3. 稀释系统:
- 设计照明，压力表，氮气枪，水枪， N2安全阀，压力传感器等安全设施。
- 阀件、接头及管道须采用抗腐蚀的PFA材质。
- 设计良好的排气装置系统。
- 管路接头采用符合ppt等级的材质。
- 设计PTFE材质的高效过滤器，保证操作空间的洁净等级。
- 设计取样口，配合实验室用作在线检测和质量管理。
- 控制系统采用PLC设计，搭配触摸屏幕，并加装条形码机防止误操作。
- 考虑操作面板的操作方便性。
- 考虑操作过程的安全性。
- 设备均安装液体泄漏侦测器以监控化学系统之供应安全。
- 透明维护检修窗设计。
- 有机类化学品供应系统将提供CO2单元、温度侦测器及火焰侦测器。
4. VMB:
- 设计抗腐蚀、防泄漏、强度够，维护操作容易。
- 阀件、接头及管道须采用抗腐蚀的PFA材质。
- 设计良好的排气装置接口。
- 管路接头采用符合ppt等级的材质。
- 泄漏侦测器功能。
- 透明维护检修窗设计。
- 防爆设计(有机) 。