特殊氣體供應系統
設備種類
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Gas Cabinet氣瓶櫃
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Gas Rack氣瓶架
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Mixer混氣設備
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VMB分流閥箱
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VMP分流閥盤
產品特色
1.產品描述
BSGS/GC系統包括氣體面板、氣櫃櫃體和一個控制箱(手動系統除外)
- GC面板：主要作用在於將工藝氣體的壓力調節至工藝設備所需的壓力，除去工藝氣體中的有害雜質，在危急時刻立即關閉氣動隔離閥，在更換氣體鋼瓶時保護工藝氣體輸送管道的潔淨度。
- 氣櫃櫃體：氣櫃規體由2.6毫米的鋼板焊接而成，表面塗有抗腐蝕的聚酯塗料。排風口用於連接客戶的排風系統。氣櫃門由2.6毫米的鋼板及4.0毫米鋼絲網安全玻璃窗組裝而成。可燃性氣體可選消防噴淋. 頭,68℃時自動工作噴水。櫃體內的鋼瓶靠架用於固定鋼瓶。可選的秤台用於監測液化性氣體的重量。
- 控制箱：控制箱按不同功能由電源、PLC、觸摸屏、電磁閥等組成。全自動控制箱通過採集PT、磅秤、UV/IR、溫度傳感等信號，通過PLC判斷對BSGS/GC設備進行操作。
2.產品分類:
按鋼瓶數量分：
- 單鋼瓶單鋼瓶供氣，價格低適用於用氣量小換瓶頻率低，非生產型的實驗室。
- 雙鋼瓶雙鋼瓶可實現氣體不間斷供應，適用於生產型用氣單位。
- 三鋼瓶單獨自帶吹掃氮氣鋼瓶，降低各供氣設備間公用所發生的干擾。
按供氣量分：
- GC供氣量小，價格低。
- BSGS 供氣量大，價格相對高。
按控制分：
- 全自動觸摸屏PLC控制，全自動排空、吹掃、供氣。能與GMS或中控系統互動。
- 半自動自動切換、手動排空吹掃，能實現緊急、遠程切斷等功能。
- 手動 純手動操作。
應用領域
1.使用目的：
氣櫃的設計和製造主要是為了安全存儲和操作高純劇毒，可燃，自燃，腐蝕性，氧化性，易反應的鋼瓶氣體。該設備能夠保證在更換鋼瓶或有毒氣體洩漏時操作人員的人身安全。氣櫃必須正確連接在連續工作的排風系統中，以提供安全的操作環境。而櫃體在鋼瓶，鋼瓶接口，鋼瓶盤管，氣體面板洩漏時提供有效的隔離和保護。排風系統能夠將洩漏的毒氣從櫃體排放至安全的尾氣處理系統中。
2.適用領域：
使用於半導體、LED、太陽能、醫藥、實驗室等所有超高純領域。